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科研研究應用

       MEMS產品及制造工藝的多樣性，要求研究人員擁有多年基于實踐的專業知識和訣竅積累。相對于先進的集成電路制造工藝（摩爾定律），MEMS制造工藝不單純追求線寬而注重特色化（超越摩爾定律），利用微納結構或/和敏感材料實現多種傳感功能，工藝節點通常從μm、500nm到110nm。

       MEMS產品種類繁多，如慣性傳感器、壓力傳感器、MEMS麥克風、射頻濾波器、MEMS振蕩器、光學MEMS、生物MEMS等。品種的多樣性，決定了MEMS制造工藝的多樣性。以襯底材料分類，MEMS制造工藝主要包括硅基和非硅基兩大類。硅基MEMS制造工藝借鑒并發展半導體工藝，主要包括體微加工、表面微加工和CMOS MEMS等技術，具有批量化、高集成度、低成本等優點；非硅基MEMS制造工藝涉及聚合物、玻璃、金屬等材料，主要包括壓印、注塑、精密機械加工等技術。

       inSync映芯面向MEMS和傳感器相關科研單位的技術人員和項目應用、或半導體專業的高校學生和老師提供相關的項目合作、技術交流以及相關產品定制等。